实验名称:实验直流溅射法制备金属薄膜班级:信息0503 实验日期::宋江凌:40550070同组人:【目的要求】:直接的接触薄膜材料对薄膜材料有一个直观的感性认识 了解喝学会直流溅射制备金属的原理和方法 学会制备干涉法测量薄膜厚的薄膜样品的方法【实验原理】:小型直流溅射仪它可以在较低的真空度下进行直流溅射因此简化了真空系统只需用机械真空泵提供12Pa的真空度即可大大缩短了实验时间
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万方数
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级直流磁控溅射镀膜与膜表征重庆工学院 材料科学实验室实验性质与对象1性质:综合性实验2学时数:8学时3对象:材料工程表面工程方向4注意事项:服从实验老师安排依照操作规程细致地开展试验步骤实验报告评分细则项目分值比例备 注实验名称355实验目的5实验原理原理图及必要的文字说明15实验设备器材(全部) 10实验操作步骤5020(详实
湖南大学
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第l4 卷第5 期
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第 37 卷 增刊
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