离子束加工加工格点置换离子4.离子束加工的分类和应用控制电极r = μm终加工 靶可以倾斜和旋转靶的倾斜是为了改变离子束轰击基片的角度以控制刻蚀图形侧壁的倾斜角度和改变刻蚀速率靶的旋转则可以改善刻蚀的均匀性在离子束刻蚀机中决定刻蚀特性的主要参量是离子束的电流密度离子能量和离子束轰击基片的角度 离子束加工 电子束加工 电子束加工 电子束加工
特种加工技术 单击此处编辑母版标题样式电子束加工:Electron Bean Machining简称EMB离子束加工:Ion Bean Machining简称IBM第六章 电子束和离子束加工主要用在精密微细加工方面尤其在微电子学领域6.1?? 电子束加工一电子束加工的原理和特点二电子束加工装置三电子束加工的应用熔化气化一电子束加工原理电流加热阴极发射电子加 速聚 焦能量密度↑冲击工件表面工
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版标题样式第六章 电子束和离子束加工2主要内容6.1 电子束加工6.2 离子束加工第六章 电子束和离子束加工3第六章 电子束和离子束加工1概述 电子束加工(Electron Beam Machining 简称EBM)起源于德国1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工6.1 电
按一下以編輯母片標題樣式082000馬蘇常按一下以編輯母片第二層第三層第四層第五層特種加工 Ch 7特种加工Non-traditional Machining 主讲:马苏常天津工程师范学院机械制造教研室0820001第七章电子束和离子束加工
⒈电子束加工的原理: 电子束加工是在真空条件下利用聚焦后能量密度极高(106109W㎝2)的电子束以极高的速度冲击到工件表面极小面积上在极短的时间(几分之一微秒)内其能量的大部分转变为热能使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温从而引起材料局部熔化和气化被真空系统抽走 第一节 电子束加工第二节 离子束加工 一 离子束加工原理分类和特点三 离子束加工的应用
??? ?? ??? ????? ??? ???? ?????丛丛簇簇丛丛簇簇?? ???? ???? ????? ??Precision Engineering Lab. Xiamen Univ.§6 电子束和离子束加工§6 电子束和离子束加工电子束和离子束加工是近年来得到较大发展的新兴特种加工在精密微细加工方面尤其是在微电子学领域得到了较多的应用§6.1 电子束加工§6.2 离子束加工§6.1
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第十一章 结束技能一结束技能的定义二结束技能的功能三结束技能的构成要素四结束技能的类型五结束技能的应用要点一结束技能的定义 结束技能是教师完成一项教学任务时通过重复强调概括总结学生实践等活动方式对所教授的知识进行及时地系统化进行巩固使新知识稳定地纳入学生认知结构之中二结束技能的功能1.整理功能
三离子束加工装置 适合于加工各种硬脆材料特别是不导电的非金属材料如玻璃宝石金刚石加工精度高表面质量好主要靠极细磨料连续冲击去除材料不会引起变形采用成形法原理加工故机床结构简单操作方便超声加工的生产率较低对导电材料的加工效率远不如电火花与电解加工对软质反弹性大的材料加工较为困难 电子束加工 电子束加工装置的组成:电子枪真空系统控制系统电源磁性磨料精整加工(MAF)
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级数控车削和数控车削中心的加工工艺第5章数控车床的介绍:数控车床加工类型:主要用于加工轴类盘类等回转体零件 车削中心与数控车床的主要区别:车削中心具有动力刀架和C轴功能可在一次装夹中完成更多的加工工序提高加工精度和生产效率 同时还可以加工变节距变径螺纹端面凸轮槽交叉槽等特别适合于复杂形状回转类零件的加工 第5章数控车削和车削中心
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式第一节 电子束加工一电子束加工的基本原理 在真空条件下利用电子枪中产生的电子经加速聚焦后能量密度为106109wcm3的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位并在几分之一微秒时间内其能量大部分转换成热能使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度致使材料局部熔化或蒸发来去除材料控制电子束能量密度的大小和能量注入时间就可以
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