单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第五章 电子探针显微分析 一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法 电子探针的功能主要是进行微区成分分析它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器原理：

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